स्टेनलेस स्टील चैनल आयाम सेमीकंडक्टर वेफर सफाई उपकरण का अनुकूलन कैसे करते हैं?

अर्धचालक विनिर्माण अल्ट्रा - सटीक, संक्षारण - प्रतिरोधी चैनल की मांग करता है:

आयामी परिशुद्धता:

316L स्टेनलेस स्टील चैनल (ASTM A276) तंग सहिष्णुता (± 0.1 मिमी) के साथ वेफर रैक के लिए 0.5 मिमी निकासी बनाए रखते हैं, 5nm चिप उत्पादन के लिए महत्वपूर्ण है। ताइवान का TSMC कण में प्रवेश को रोकने के लिए 80 × 40 × 5 मिमी आयामों के साथ U - चैनलों का उपयोग करता है।

रासायनिक प्रतिरोध:

2.5% molybdenum सामग्री वाले चैनल हाइड्रोफ्लोरिक एसिड (HF) एक्सपोज़र का विरोध करते हैं, 1, 000+ बिना पिटाई के चक्रों की सफाई करते हैं। दक्षिण कोरिया के सैमसंग ने अपने 300 मिमी वेफर फैब्स में इन्हें नियुक्त किया, जिससे उपकरण प्रतिस्थापन को 70%कम कर दिया गया।

सतह खत्म:

इलेक्ट्रो - पॉलिश चैनल (0.02μm से कम या उसके बराबर) कण आसंजन को कम करते हैं, सेमी F20 वर्ग 1 मानकों को पूरा करते हैं। जापान का टोक्यो इलेक्ट्रॉन इस महत्वपूर्ण आवश्यकता के लिए JIS G4305 SUS316 चैनलों को निर्दिष्ट करता है।

क्षेत्रीय गोद लेना:

यूएस सेमीकंडक्टर प्लांट 6 मिमी न्यूनतम मोटाई के साथ ASTM A479 चैनलों का उपयोग करते हैं, जबकि चीन का SMIC GB/T 1220 06 CR17NI12MO2 चैनलों को लागत - संवेदनशील 28NM प्रक्रियाओं के लिए पसंद करता है।